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新規レーザーナノ加工技術

ナノ粒子を基板上に配置し、このナノ粒子だけを、可視光レーザーによるレーザーアブレーション法により除去する。

 

その結果、ナノ粒子のあった場所が空乏となり、ナノ加工が実現する。

従来、ナノサイズの加工に用いられる光は極短波長であったため、無酸素状態での使用に限られていました。当技術では可視光レーザーを使用することにより、常圧大気中下(実験室等の一般的な部屋)でのナノ加工が可能です。

 

当技術はターゲットを置いた場所のみを加工する技術のため、ターゲットの大きさを制御することにより、加工する大きさを制御することが可能です。


当技術では、 2mm×2mm四方の面積のナノ加工を1パルスのレーザー照射光で行うことが可能なため、製造コスト・製造時間の大幅な削減が期待できます。

リソグラフィーが困難な大気中下でしか利用できない材料に対しても、ナノ加工を容易に行うことが可能です。また、有機・無機材料の種類に囚われることもありません。

 

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